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　　使用自動(dòng)化的原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡技術(shù)，可用來測量直徑可達(dá)200毫米的半導(dǎo)體硅片、刻蝕掩膜、磁介質(zhì)、CD/DVD、生物材料、光學(xué)材料和其它樣品的表面特性。它的激光點(diǎn)定位系統(tǒng)和無需工具改變掃描技術(shù)的能力保證了儀器的適用性、易操作性和高的數(shù)據(jù)處理能力。

技術(shù)參數(shù)
• 樣品臺直徑：210mm  
• 樣品厚度：最大為10 mm 
• 樣品尺寸：≤40 mm
• 掃描范圍 ：XY方向80μm×80μm，Z方向5μm 
• 分辨率：0.1nm  
• Z閉環(huán)噪音：＜30pm