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　　此設備為緊湊型場發(fā)射掃描電鏡，成像分辨率優(yōu)于10nm。低加速電壓成像，有效減少電荷累積，非導電樣品，無須噴金噴碳處理，便可直接進行觀察。

技術參數(shù)
• 電子槍：場發(fā)射電子源
• 加速電壓：0.5 to 2 kV
• 束流：0.2 to 1 nA 
• 分辨率：<10 nm （@1kV）
• 放大倍數(shù)：250 to 130,000x  (2048×2048pixels) 
• 樣品尺寸：最大 100×60 mm
• 樣品高度：最大 30 mm